JKZC-DSH系列双面探针台
发布时间：2023/12/20 15:47:00JKZC-DSH系列双面探针台
|产品概要
JKZC-DSH系列探针台是我司自主研发的一款双面探针台，最大可完成12英寸晶圆的正反面点针测试。在具备常 规探针台的功能基础上,可用于晶圆和PCB板的测试，对晶圆或者PCB板正面和背面同时扎针以实现各种 光/电性能测试需求的测试，或背面点针，正面收集光线等,运用十分丰富。该定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升级功能。此设备在激光器,LD/LED/PD的光强/波长测试等 方面得到了广泛运用。如果您的产品也有双面点针,或者背面点针的需求，此款产品。
|技术特点
?双层设计，可正反面同时点针，可同时加载DC和RF信号；
?卡盘大手柄双驱动，省时，省力，省心，可升级360度快速移动；
?加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术，结构性能稳定。
I详细参数
产品型号 技术参数 | JKZC-DSH6 | JKZC-DSH8 | JKZC-DSH12 | |
台体 | 主体材料 | 航空铝 | 航空铝 | 航空铝 |
整机尺寸（mm） | 750L*550W*680H | 800L*580W*680H | 930L*700W*680H | |
重量 | 85kg | 100kg | 160 kg | |
卡盘大小 | 6" ,360度转动，可微调 | 8",360度转动，可微调 | 12",360度转动，可微调 | |
卡盘XY轴行程 | 6"*6",精度 10um | 8"*8",精度 10um | 12"*12",精度 10um | |
卡盘Z轴行程 | 快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米 | |||
卡盘材质 | 高透射玻璃或者镂空 | |||
固定方式 | 机械式压片固定或者真空吸附，尺寸可调 | |||
其他功能 | 带标准接地保护，可升级 | |||
针座平台 | 类型 | 双面点针平台，单个平台最多■可放置8个JKZC-DR/L-100探针座 | ||
材质 | U型平台，Q235镀鎳，带接地端子，带接地端子 | |||
正面光学系统 | 显微镜类型 | 体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统 | ||
倍率范围 | 16X~200X/40X~280X/20X~4000X | |||
显微镜行程 | 具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum | |||
CCD成像系统 | 2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能 | |||
背面光学系统 | 显微镜类型 | L型单筒显微镜 | ||
倍率范围 | 0.75X-5X | |||
显微镜行程 | 40X-280X （可选高倍物镜增加倍率） | |||
CCD成像系统 | 21＜或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能 | |||
探针座 | 种类 | 丝杆型/微分头型/经济型探针座 | ||
X￥Z行程 | 12.5 mm-12.5 mm-12.5 mm | |||
机械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夹具 | 漏电精度 | 同轴夹具10pA/H轴夹具lOOfA | ||
接口形式 | 同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口 | |||
其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率/半自动 | ||
电力需求 | 220W50HZ |