JKZC-DH系列综合型探针台
发布时间：2023/12/20 15:46:00JKZC-DH系列综合型探针台
|产品概要
JKZC-DH系列探针台是一款综合型晶圆测试探针台，可完成12英寸晶圆的电学测试。此系列探针台设备配 置十分丰富，不仅具备龙门架结构和卡盘的升降功能，还具备业内领先的卡盘快速移动技术，可快速定位 样品位置,提高测试效率。另外针座平台具备三段式升降功能,在不失焦的情况下可以使样品和探针做到 快速分离，同时也方便探针卡的使用。此设备在大型实验室或者半导体工厂得到广泛运用，配合对应的仪器仪表，可以完成集成电路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性测试/管芯晶圆/LED/LC- D/太阳能电池行业的测试。此系列探针台可以实现1μm以上的Pad电极测试,也可以实现搭载探针卡的测 试。
|技术特点
?卡盘可360度快速移动，便于快速定位样品位置,提高测试效率；
?三段式可升降探针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离；
?加厚级刚性金属框架结构设计,领先的内部防震技术，结构性能稳定。
详细参数
产品型号 技术参数 | JKZC-DH6 | JKZC-DH8 | JKZC-DH12 | |
探针台本体 | 主体材料 | 航空铝 | 航空铝 | 航空铝 |
整机尺寸（mm） | 750L*550W*680H | 800L*580W*680H | 930L*700W*680H | |
重? | 75kg | 95kg | 150kg | |
卡盘大小 | 6" ,360度转动，可微调 | 8",360度转动，可微调 | 12；360度转动，可微调 | |
卡盘XY轴行程 | 6"6",精度 10um | 8"*8"，精度 10um | 12"*12"3m 度 10um | |
卡盘Z轴行程 | 快速升降5mm,微调升降行程6mm,精度1微米 | |||
卡盘材质 | 不锈钢镀金，具备更小的接触电阻 | |||
卡盘气浮移动范围 | 360度快速移动，便于快速定位，提高测试效率 | |||
卡盘吸附方式 | 真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片） | |||
背电极测试功能 | 卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能 | |||
其它功能 | 带标准接地保护，可升级 | |||
针座平台 | 材质 | U型平台，Q235镀银，带接地端子 | ||
大小 | 最多可放置6个探针座 | 最多可放置8个探针座 最多可放置12个探针座 | ||
三段式升降平台 | 探针平台可以快速升降，拥有5mm和300um两档，探针平台可以上下微调， 行程25mm,升降精度gm。（使用探针卡的时候使用） | |||
显TH系统 | 显微镜类型 | 体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统 | ||
倍率范围 | 16X~200X/40X~280X/20X~4000X | |||
显微镜行程 | 具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸*2英寸，精度lum | |||
CCD成像系统 | 2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能 | |||
探针座 | 种类 | 丝杆型/微分头型/经济型探针座 | ||
X￥Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | |||
机械精度 | 0.5um/0.7um/2um | |||
夹具 | 漏电精度 | 同轴夹具10pA/H轴夹具lOOfA | ||
接口形式 | 同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口 | |||
其它 | 选件 | 屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率/半自动 | ||
电力需求 | 220W50HZ |