探针台本体

主体材料

航空铝

航空铝

航空铝

整机尺寸（mm）

780L*580W*680H

830L*610W*680H

950L*730W*680H

重量

85kg

125kg

175kg

卡盘大小

6" ,360度转动，可微调

8",360度转动，可微调

12", 360度转动，可微调

卡盘XY轴行程

6"*6"，精度 10um

8"恪"，精度10um

12"*12"，精度 10um

卡盘气浮移动范围

360度快速移动，便于快速定位，提高测试效率

卡盘材质

不锈钢镀金，具备更小的接触电阻

卡盘拉出功能

卡盘可以快速拉出，拉出面积占比大于80%,便于更换样品

卡盘吸附方式

真空吸附，可选择环形吸附或者多孔吸附（适用于薄片）

背电极测试功能

卡盘镀金，电学独立悬空，带2个4mm香蕉头插口，具备背电极功能

腔体

带腔体暗室，可以屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜

其他功能

带标准接地保护，可升级

温控

温度范围

-100~200°C - 80~200°C

-60~2000°C

温控精度

温度分辨率：0.01°C

加热电源

LVJKZC-DCH低压直流

最低控温速率

±0.1℃

制冷方式

液氮制冷（自动控温）

针座平台

材质

0型平台，Q235镀鎳，带接地端子

大小

最多可放置8个探针座 最多可放置10个探针座

最多可放置14个探针座

两段式升降平台

探针平台可以快速升降，行程3mm；可以上下微调，行程40mm,升降精度lum

显TH系统

显微镜类型

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD成像系统

倍率范围

16X-200X/40X-280X/20X-4000X

显微镜行程

具备高刚性龙门架结构,XYZ行程分别为2英寸*2英寸P英寸，精度lum

CCD成像系统

2k或者4K相机，帧率60fps,带拍照/录像/测量功能等功能

探针座

种类

丝杆型/微分头型/经济型探针座

X￥Z行程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um

夹具

漏电精度

同轴夹具10pA/H轴夹具lOOfA

接口形式

同轴/三轴/SMA/香蕉头/鳄鱼夹/裸线等接口

其它

选件

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率/半自动

电力需求

220V/50HZ