全自动内圆切片机
全自动内圆切片机
全自动内圆切片机是一种用于高精度切割硬脆材料(如硅、锗、石英、蓝宝石、陶瓷等)的专用设备,广泛应用于半导体、光伏、光学和电子等行业。
优缺点
1.优点:
切割精度高、表面质量好;
材料损耗低(刀缝可窄至0.1 mm);
自动化程度高,适合批量生产;
切割应力小,减少崩边和微裂纹。
2.缺点:
内圆刀片制造复杂、成本高;
刀片更换和张紧需专业操作;
对冷却系统和水质要求高;
不适合超大尺寸或超厚材料切割。
基本结构
1.内圆刀片系统
刀片为环形金属基体,内缘电镀或烧结金刚石磨料。
刀片高速旋转,工件相对进给,实现线性切割。
相比外圆切片机,内圆刀片刚性更好、切缝更窄、材料损耗小。
2.自动送料与夹持系统
采用伺服电机或步进电机驱动工件进给。
配备高精度夹具,确保工件定位稳定。
3.冷却与排屑系统
使用去离子水或专用冷却液喷淋,降低切割温度、延长刀片寿命。
自动过滤和循环冷却液,保持加工环境清洁。
4.控制系统
基于PLC或工业计算机,集成人机界面(HMI)。
可预设切割参数(如进给速度、切割深度、主轴转速等)。
支持自动对刀、厚度检测、异常报警等功能。
5.安全与防护
全封闭防护罩,防止冷却液飞溅和碎片飞出。
配备急停按钮、门禁联锁等安全装置。
应用领域
1.半导体行业:硅晶圆、碳化硅(SiC)、砷化镓(GaAs)晶锭切片。
2.光伏产业:单晶硅/多晶硅棒切片。
3.光学材料:石英、蓝宝石、YAG激光晶体等。
4.电子陶瓷:氧化铝、氮化铝基板切割。