工作原理
光学膜厚测量仪的工作原理
发布时间：2025-09-09 16:36 光学膜厚测量仪的工作原理基于光的干涉现象。当一束光照射到透明或半透明薄膜表面时，部分光在薄膜上表面反射，另一部分光进入薄膜内部并在薄膜与基底的界面发生二次反射。这两束反射光因在薄膜中往返传播而产生光程差，形成干涉。
若两束光相位相同，则发生相长干涉；相位相反，则发生相消干涉。由于不同波长的光干涉效果不同，反射光的强度随波长呈现周期性变化，形成特征干涉光谱。
通过采集并分析该反射光谱的波动周期和强度分布，结合已知的薄膜材料折射率，利用光学干涉模型（如菲涅耳公式）进行拟合计算，即可精确反演出薄膜的厚度。对于多层膜结构，可通过建立多层光学模型进行同步分析求解。