超高纯度氢气发生器
特性
采用钯合金过滤膜
对原料水要求不高，只需普通蒸馏水即可
不需要干燥剂(如：变色硅胶、分子筛等)
免维护
压力及流量均采用一体化的控制
全自动控制，设有水位、超压等多种安全装置
可满足高精度气相色谱仪、极谱仪、半导体外延、核物理实验等对超高纯度氢气的需求
参数
氢气纯度：99.99999%
氢气流量：0-300ml/min
输出压力：0-0.5MPa
消耗功率：300W
压力稳定精度：优于0.0001MPa