应用领域

PS300系列质量流量控制器广泛应用于各种行业，如气体成分制造、PVD和CVD、光学玻璃镀膜、LED生产、真空技术、光伏元件制造，以及离子注入、蚀刻和原子层沉积等半导体制造工艺。

基于工艺气体的化学物性和对介质清洁度的要求，海纳精密优先选择全金属密封设备。海纳精密在流体控制行业经验丰富，一直为高纯和超高纯应用提供可靠性强的精密流体测量控制仪表。

高精度

基于实际的工艺气体标定，结合内置的气体特性数据，提高了实际流量准确度。

快速响应

高速的压力传感器、快速稳定的压电驱动器、处理工艺气体工况变化的32位快速响应CPU，加上为快速响应优化的算法，可在整个

流量范围内实现低于0.8秒的快速响应。

宽动态范围

1~100%F.S.的流量控制范围，可选0.5~100%F.S.

压力不敏感性

通过集成的控制算法，减缓压力波动对流量的影响。

多气体多范围

专用软件，方便本地变更气体类型和全量程流量。