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HainarGuard-HMS系列残余气体分析仪
价格：电议
地区：浙江省 宁波市
手 机：18368417949

浙江海纳精密设备有限公司

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  • 产品信息

HMS 系列气体分析仪是专为半导体行业设计的高端气体分析与监测设备，可为先进半导体工艺提供快速、可靠的气体分析与监测解决方案，有效提升生产效率和产品良率，助力关键设备国产化进程。


   ●  响应快速：毫秒级数据采集速度

   ●  高可靠性：高抗污染四极杆质量过滤器 + 双灯丝离子源设计

   ●  国产自主：知识产权完全自主，供应链稳定安全


  • 产品详情

型号

HMS系列

类型

F

C

规格

100

200

300

100

200

300

质量范围(amu)

1-100

1-200

1-300

1-100

1-200

1-300

检测器

法拉第杯

高性能电子倍增器

质量分辨率

< 1 amu

质量稳定性

0.1 amu/24 h

离子源

双灯丝敞开离子源

灯丝类型

纯钨 / 涂铱钇

四极杆材质

316L 高纯度不锈钢 / 高纯度钼

工作压力极值

≤ 1 × 10-3 mbar（0.1 Pa）

工作环境温度

5~50 ℃

响应时间

≤ 0.1 ms

输入电压

AC 220 V

通信方式

RS-232、RS-485、以太网、标准 I/O、USB

控制软件

HMS 1.0

整机重量

≤ 2 kg

  • 尺寸规格

image.png


质量分辨率:

< 1 amu

质量稳定性:

0.1 amu/24 h

离子源:

双灯丝敞开离子源

通信方式:

RS-232、RS-485、以太网、USB

响应时间:

≤ 10 ms

工作环境温度:

5-50 ℃