高精度

基于实际的工艺气体标定，结合内置的气体特性数据，精度高达 ± 1.5% S.P. (30-100% F.S.) ± 0.5% F.S. (2-30% F.S.)

快速响应

为快速响应优化的专用自适应 PID 算法、让 TE300 可在整个流量范围内实现低于 1.0 秒的快速响应。自适应算法根据设定流量连续变化，使得气体和满量程更改时，PID 参数能够得到优化。

多气体多范围

专用软件，方便本地变更气体类型和全量程流量。