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产品属性
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产品信息
TE300热式质量流量控制器是一款面向新能源、燃料电池、半导体、液晶面板、LED等应用领域的高精度的质量流量控制仪器。支持多种通讯协议与模拟通讯兼容,电气接口内置浪涌抑制及过压过流保护,确保系统稳定可靠运行,广泛适用于半导体、工业气体等流量控制场景。
● 精度高:± 1.5% S.P. (30-100% F.S.)
± 0.5% F.S. (1-30% F.S.)
● 响应快:≤ 1.0 秒
● 范围宽:2~100% F.S.
产品详情
型号 | TE300系列 |
气体 | 可配置,可选多气体多范围功能 |
全量程 | 10kPa-300kPa(A) |
流量控制范围 | 2-100% F.S. |
流量精度(25℃时) | ± 1% S.P. (30-100% F.S.) ± 0.3% F.S. (1-30% F.S.) |
重复性 | ± 0.3% S.P. (30-100% F.S.) ± 0.09% F.S. (1-30% F.S.) |
耐压 | 1000 kPa(A) |
入口工作压力 | 50-450 kPa(A) |
工作压差 | ≤ 300 kPa(D) |
工作温度 | 5-50 ℃ |
零漂 / 量程稳定性 | ± 1% F.S. / 年 |
阀门类型 | 压电陶瓷阀,常闭,常开 |
稳定时间 | ≤ 1.0 秒 |
阀片泄露 | < 1.0% F.S. |
漏率 | ≤ 5 x 10-11 Pa · m3/s (He) |
过流材质 | SUS 316 L |
标准接头 | 1/4" VCR |
储存温度 | 0-80 ℃ |
通信协议 | Modbus / RS-485, 9 针 D-Sub |
DeviceNet, EtherCAT, 5 针 M12 | |
电源 | 9-36 VDC |
尺寸规格



