PS500系列压差式质量流量控制器
价格：电议
地区：浙江省 宁波市
手 机：18368417949
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图文详情
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产品属性
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产品信息
PS500系列压差式质量流量控制器面向先进半导体制造工艺中的精密气体流量控制需求而设计，适用于对流量稳定性、响应速度和控制精度要求较高的工艺环境。设备通过检测层流元件两端的压差信号，实现宽量程范围内的高灵敏度流量测量。
● 量程广：10SCCM - 20SLM
● 响应快：≤ 0.8 秒
● 范围宽：1~100% F.S.
产品详情
型号 | PS500系列 |
气体 | 可配置 |
全量程 | 10SCCM - 20SLM |
入口工作压力 | 240 - 450 kPa(A) |
流量控制范围 | 1-100% F.S. |
流量精度(25℃时) | ± 1% S.P. (20-100% F.S.) ± 0.2% F.S. (1-20% F.S.) |
响应速度 | ≤ 0.8s |
重复性 | ± 0.3% S.P. (20-100% F.S.) ± 0.06% F.S. (1-20% F.S.) |
温度敏感性(自25℃) | ± 0.05% S.P. / ℃ (20-100% F.S.) ± 0.01% F.S. / ℃ (1-20% F.S.) |
温度精度 | ± 1 ℃ |
操作温度 | 15-45 ℃ |
工作压差 | ≥ 240 kPa(D) |
入口压力精度 | ± 10 kPa ( 0-1000 kPa(A) ) |
是否具备压力不敏感性 | 是 |
闭阀内漏 | ≤ 1% F.S. |
泄漏率 | ≤ 5x10-11 Pa · m3/s (He) |
标准接头 | 1.125" 英寸 C 型密封，内径 1/4 " 英寸 |
1.125" 英寸 W 型密封，内径 1/4 " 英寸 | |
通信协议 | Digital/Analog, 9-pin D-Sub (male) |
DeviceNet, 5-pin M12 (male) | |
EtherCAT, 5-pin M8 (male) | |
电源 | 9-36 VDC, Max. 1A |
尺寸规格
测量范围
1-100%F.S.
工作温度
15-45℃
供电电源
9-36VDC,Max.1A
全量程:
10SCCM - 20SLM
响应速度:
≤ 0.8s