电阻率/方块电阻测试仪 型号:KDB-1 库号：D410754  

电阻率/方块电阻测试仪 型号:KDB-1 库号：D410754 

电阻率/方块电阻测试仪 型号:KDB-1 库号：D410754 

电阻率/方块电阻测试仪 型号:KDB-1 库号：D410754 

KDB-1电阻率/方块电阻测试仪是严格按照相关标准及标准设计制造，用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶、涂层方块电阻的测量仪器。它主要由电气部份、测试架及四探针头组成。本仪器的特点是主机配置三个数字表，在测量电阻率或方阻的同时，一块数字表实时监测全程的电流变化，及时掌控测量电流，一块监测2、3探针间的样品电压，另一块监测当前1、4探针的测量电压，并可适当调整测量电压避免材料耐压不够而被击穿。主机提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。并配有恒流源开关，在测量某些薄层材料时，避免探针尖与被测材料之间接触火花的发生，地保护薄膜。配合本公司的

产品：“小游移四探针头”，探针采用碳化钨硬质合金，探针游移率在0.1～0.2%，保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。且探针压力及曲率半径可根据材料性能不同及用户需求定制。

参数

测量范围:

电阻率1x106~2x10Ω·cm,小分辨率1x10Ω·cm;

方块电阻:1x10~2x10‘Ω/□,小分辨率1x10Ω/□。

测量尺寸:可准确测量的样品尺寸直径≥20mm;

可测量的样品尺寸≥8mm。

测量方式:平面测量。    

电压表：三个数字电压表，可同时观察样品

电流、样品电压及测量电压变化。

A. 量程0~19.999mV、0~199.99 mV

B. 灵敏度：1μV和10μV

C. 基本±(0.004%读数+0.01%满度)

D. 输入阻抗﹥1000MΩ

E. 4 1/2位数字显示，0～19999

恒流源：

A. 电流输出：直流电流0.0003～1000 mA连续可调

B. 量程：1μA、10μA、100μA、1 mA、10 mA、

100 mA、1000 mA七档

C. 恒流源精度：10μA-1000 mA档均≤±0.05%,

1μA≤±0.1%