FST-MDF02 高精度手动二维材料转移系统 

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山东菲斯特光电技术有限公司 | FEISITE产品分类：二维材料科研制备设备 / 手动精密二维异质结转移平台 / 微纳薄膜堆叠系统

一、产品主标题

FST-MDF02 高精度手动二维材料转移系统副标题：紧凑型桌面手动款二维范德华薄膜精准制备设备

二、产品简介

FST-MDF02 高精度手动二维材料转移系统是菲斯特专为高校课题组推出的紧凑型桌面式手动转移设备，整机集成五维微分手动微调平台、PID 恒温真空载物台、三目金相显微成像、静音真空吸附气路一体化方案，机身紧凑小巧，标配阻尼隔振底座，放置不占用过多实验室台面空间。设备兼容干法 PDMS 剥离、湿法水捞膜两种主流制备工艺，可完成石墨烯、hBN、TMDs、钙钛矿、磁性二维薄膜的拾取、多层异质结堆叠、热压退火贴合；采用微分头微米级精细进给，无回程间隙，操作简单易上手，采购与维护成本低，适配预算有限、样品制备量适中的材料、物理、微电子实验室，可拓展探针、真空腔体、模拟光源等功能模块。

三、整机模块化结构说明

整套设备由五大核心功能单元组成，紧凑型一体化防震布局：

1. 五维精密手动微调转移单元

   XYZ 三轴直线微分微调 + XY 双向俯仰 + Z 轴 360° 旋转，五轴独立微分头调节，最小进给 1μm，螺杆传动无回程间隙，人工手动完成薄膜精准对位，适配多变量探索性科研实验。

2. PID 恒温真空吸附载物台

   多孔陶瓷真空吸附台面，室温～200℃宽温连续控温，控温稳定精度 ±0.1℃，支持高温干法剥离、多段阶梯退火工艺；负压分段可调，适配硅片、石英、PDMS、柔性衬底等各类基底。

3. 三目金相显微观测单元

   三目镜筒搭配高清工业相机与监视器，同轴冷光源，100~900 倍连续变倍放大，实时可视化观测单层二维薄膜边界、剥离、贴合全过程，精准识别微米级薄膜形貌缺陷。

4. 静音真空吸附气控单元

   无油低噪隔膜真空泵，负压 0~-90KPa 连续可调，可自由切换干法、湿法转移工艺，轻柔吸附超薄单层材料，避免薄膜撕裂、褶皱、滑移。

5. 阻尼隔振光学支撑底座

   一体化铸铁阻尼隔振平台，内置高效阻尼夹层，隔绝人员走动、空调、周边设备带来的低频振动，长时间手动堆叠样品无偏移漂移，保障对位精度。

四、核心技术参数总表

表格

五、产品核心优势

1. 紧凑型桌面机身，节省实验室台面空间

整机一体化紧凑设计，体积小巧，无需大面积光学平台摆放，小型实验室、通风橱内均可放置，适配工位紧张的课题组。

2. 五维微米级手动微分调节，操作灵活零学习成本

五轴独立微分微调，最小进给 1μm，位置、角度、升降均可单独精细调节，无需软件编程调试，学生快速上手，随时更换衬底、切换实验工艺，适合多材料、多变量探索实验。

3. 干湿法双工艺通用，覆盖全部二维薄膜制备需求

一套设备同时支持干法 PDMS 剥离、湿法水捞膜转移，适配石墨烯、氮化硼、过渡金属硫族化合物、钙钛矿、磁性二维材料、柔性超薄薄膜，一套设备满足课题组全部样品制备需求。

4. 一体化精密温控退火模块，适配多元薄膜工艺

高 200℃稳定恒温台面，支持热压贴合、高温干法剥离、界面杂质退火去除、薄膜应力释放；可设置多段阶梯升温曲线，解决超薄薄膜氧化、界面接触不良等制备难题。

5. 高清可视化显微观测，大幅降低样品报废率

高倍三目金相成像系统，实时清晰观测纳米级厚度二维薄膜边界、褶皱、缺陷，人工精准完成定点拾取、异质结对准，减少薄膜破损、对位偏移造成的样品浪费。

6. 标配阻尼隔振底座，抑制环境振动干扰

整机配套阻尼隔振光学平台，高效滤除实验室低频振动，长时间手动对位过程中样品、光路无漂移，大面积薄膜、微阵列器件堆叠稳定性大幅提升。

7. 高性价比低维护，适配高校预算采购

纯手动机械结构，无伺服电机等高损耗配件，故障率极低、几乎零维护；设备采购成本远低于全自动电动转移系统，是预算有限、小批量样品制备课题组的高性价比优选。

8. 模块化拓展设计，后期可升级全套表征系统

设备预留标准化拓展接口，可后期加装原位电学探针测试台、密闭真空腔体、LED 太阳光模拟器、多波长单色 LED 光源，逐步升级为一体化制备 + 表征平台。

六、典型应用领域

1. 二维范德华异质结科研制备

   石墨烯 /hBN 垂直堆叠、多层 TMDs 异质结构、磁性二维材料、钙钛矿复合薄膜样品制备；

2. 低维光电器件研发

   二维场效应晶体管、光电探测器、柔性忆阻器、微纳发光器件、传感芯片样品制备；

3. 薄膜光学与输运特性表征

   大面积薄膜 PL、拉曼扫描测试、载流子输运机理、界面光电效应课题研究；

4. 高校教学与基础科研

   材料、物理、微电子专业本科教学演示、硕士博士课题标准化样品制备；

5. 企业小型研发实验室

   柔性电子、新型半导体、光传感材料小批量样品试制与工艺摸索。

七、标准出厂全套配置清单

1. FST-MDF02 紧凑型手动二维转移主机（含阻尼隔振光学底座）

2. 五维精密微分手动微调转移模组

3. 室温～200℃ PID 真空吸附陶瓷温控载物台

4. 三目金相显微镜 + 高清工业成像相机 + 液晶监视器

5. 无油静音真空泵、全套真空管路与负压调节阀

6. 标准 PDMS 衬底、玻璃载片、样品固定夹具全套耗材

7. 整机电源线、信号传输线、操作手册、配套调节工具包

八、可选拓展选配模块

1. 原位电学探针测试模组：堆叠完成后 IV、光电响应原位测试

2. 密闭高真空腔体模组：隔绝水汽氧化，适配黑磷、钙钛矿等易氧化材料

3. 大面积 LED 太阳光模拟器、多波长单色 LED 光源

4. 气浮隔振平台升级套件、手套箱内置适配改造组件

5. 电动伺服升级套件，可将手动款改造为全自动程控转移系统

九、质保与配套技术服务

1. 质保政策：整机标准质保 1 年，微分微调滑轨、温控加热组件、真空传感器核心部件 2 年质保；

2. 技术支持：免费提供设备操作手册、全套二维材料干湿法转移标准工艺方案、远程操作指导；

3. 定制服务：支持台面尺寸、温控区间、位移行程、拓展接口非标定制；

4. 交付周期：标准机型 7 个工作日发货，带多套选配模块定制机型 15~20 个工作日交付；

5. 增值服务：工程师上门装机调试、设备精度校准、课题组人员实操培训、长期工艺技术咨询。