FST-PQ01 高精度电动二维材料转移系统 

企业

山东菲斯特光电技术有限公司 | FEISITE产品分类：二维材料科研设备 / 全自动二维异质结转移平台 / 微纳器件制备系统

一、产品主标题

FST-PQ01 高精度电动二维材料转移系统副标题：全自动电控型 二维范德华异质结精准堆叠制备设备

二、产品简介

FST-PQ01 高精度电动二维材料转移系统是菲斯特面向高校、科研院所低维半导体实验室推出的全自动电控堆叠设备，整套集成电动纳米位移平台、PID 精密温控载物台、三目金相显微成像系统、真空吸附气控单元、上位机程控软件一体化方案。设备可全自动完成石墨烯、hBN、TMDs、钙钛矿等各类二维薄膜干法 / 湿法定点转移、多层异质结堆叠、薄膜退火贴合，全流程软件可编程自动对位，消除人工操作误差，大幅提升样品制备良率与实验数据可重复性，适配高水平论文样品制备、大批量阵列器件研发。整机标配阻尼隔振光学底座，可拓展探针测试、真空腔体、多波段光源模块，一站式搭建完整二维材料光电表征实验平台。

三、整机系统结构说明

整套设备由六大核心单元模块化组成，布局规整，光路与运动机构一体化防震设计：

1. 电动多轴纳米位移转移单元

   XYZ 三轴电动闭环位移台，搭配 X/Y 俯仰、Z 轴旋转电动微调，上位机软件精准定位，重复定位纳米级，支持点位存储、自动扫描、多点堆叠程序。

2. PID 恒温真空温控载物台

   陶瓷真空吸附台面，宽温区连续控温，支持阶梯升温退火工艺，内置风冷快速降温，防止超薄薄膜高温氧化、形变；负压分段可调，适配 PDMS、PC、硅片、石英等多种衬底。

3. 三目金相显微成像观测单元

   三目镜筒搭配高清工业相机与显示监视器，同轴环形冷光源，高倍率清晰分辨单层二维材料边界，实时可视化监控薄膜剥离、对准、贴合全过程。

4. 静音真空吸附气控单元

   无油静音隔膜真空泵，分段负压调节，可切换干法剥离、湿法捞膜两种主流工艺，避免超薄薄膜撕裂、滑移。

5. 全自动运动控制主机与上位机软件

   独立电控机箱，配套 Windows 可视化程控软件，可自定义运动轨迹、温度曲线、堆叠流程，支持无人值守自动批量样品制备。

6. 阻尼隔振光学底座

   一体化铸铁阻尼隔振平台，隔绝地面震动干扰，保障纳米级对准精度长期稳定。

四、核心技术参数总表

表格

五、产品核心优势

1. 全电动闭环自动控制，样品制备高度可复现

三轴 + 角度全电动驱动，搭配光栅闭环位置反馈，所有对位、升降、旋转动作由软件精准控制，完全规避手动操作抖动、人为对位偏差，多层异质结堆叠精度稳定，实验数据重复性满足顶刊论文标准。

2. 可视化全自动堆叠，支持批量无人值守实验

上位机软件可编辑完整转移工艺流程，预设多点堆叠点位、升温退火程序，设备自动完成整套薄膜转移操作，科研人员无需全程值守，同时可批量制备多组平行对比样品，大幅提升实验产出效率。

3. 纳米级超高定位精度，超薄二维薄膜无损伤对准

最小步进 50nm，重复定位误差 ±200nm，可精准对准微米级二维薄膜、微电极阵列；搭配分段可调负压真空吸附，兼顾超薄单层材料与厚膜衬底，剥离、贴合过程不会撕裂薄膜。

4. 一体化温控退火模块，兼容全品类二维材料工艺

高 200℃精密恒温台，支持热压贴合、干法高温剥离、薄膜退火、界面杂质去除等工艺；可自由切换常温、低温、多段阶梯升温，适配石墨烯、氮化硼、钙钛矿、TMDs 等全部主流低维材料。

5. 模块化拓展设计，一机集成全套表征系统

主机预留标准化拓展接口，后期可按需加装：原位电学探针测试模组、密闭真空腔体、LED 太阳光模拟器、多波长单色 LED 光源、拉曼显微光路，一套设备完成样品制备 + 光电性能原位测试。

6. 标配阻尼隔振底座，杜绝震动导致对位漂移

整机配套专业阻尼隔振光学平台，有效隔绝空调、人员走动、周边设备带来的低频振动，长时间连续堆叠过程中光路、样品无偏移，保障大面积薄膜、微阵列器件制备精度。

7. 干湿法双工艺兼容，覆盖全部二维材料制备需求

可自由切换干法 PDMS 剥离转移、湿法水捞膜转移两种主流工艺，适配不同附着力、不同厚度二维薄膜，一台设备满足课题组全部样品制备需求。

六、典型应用领域

1. 二维范德华异质结制备

   石墨烯 /hBN 垂直堆叠、多层 TMDs 异质结构、钙钛矿二维复合薄膜、磁性二维材料堆叠；

2. 光电器件研发制备

   二维材料场效应晶体管、光电探测器、柔性忆阻器、微纳发光器件样品制备；

3. 半导体微纳表征实验

   大面积薄膜 PL / 拉曼 Mapping 扫描、器件原位电学测试、载流子输运特性研究；

4. 高校教学科研平台

   材料、物理、微电子专业教学演示、本科生课题、研究生论文标准化样品制备；

5. 企业研发中心小批量器件试制

   柔性电子、光传感、新型半导体器件小批量样品自动化制备。

七、标准出厂配置清单

1. FST-PQ01 电动二维材料转移主机（含阻尼隔振光学底座）

2. 电动 XYZ 三轴位移转移头 + 电动角度微调模组

3. 200℃ PID 真空吸附温控陶瓷载物台

4. 三目金相显微镜 + 高清工业成像相机 + 21.5 寸监视器

5. 无油静音真空泵 + 全套真空管路、负压调节阀

6. 独立伺服电控驱动机箱、配套上位机控制软件

7. PDMS 衬底、玻璃载片、标准样品夹具全套耗材

8. 整机电源线、信号传输线、操作手册、配套工具包

八、可选拓展选配模块

1. 原位电学探针测试模组：实现堆叠后 IV、光电响应原位测试

2. 高真空密闭腔体模组：隔绝水汽氧化，适配黑磷、钙钛矿等易氧化材料

3. 大面积 LED 太阳光模拟器、多波长单色 LED 光源

4. 更高行程电动位移台、低温制冷温控台、自动点胶模组

5. 气浮隔振平台升级方案、手套箱内部适配改造套件

九、质保与配套技术服务

1. 质保政策：整机标准质保 1 年，电动位移滑轨、光栅传感器、温控加热核心部件 2 年质保；

2. 技术支持：免费提供设备操作手册、上位机控制软件、二维材料全套转移工艺方案；

3. 定制服务：支持位移行程、温控区间、真空腔体、通讯接口非标定制；

4. 交付周期：标准机型 7 个工作日出货，带多套选配模块定制机型 15~20 个工作日交付；

5. 增值服务：工程师上门装机、光路与精度校准、操作人员完整实操培训、长期远程工艺技术指导。