产品详情大图
JKZC-3CD-300三维纳米定位/扫描平台
价格：电议
地区：北京市
电 话：010-61446422
手 机：15810615463
传 真：010-61446422

北京东方圆通科技发展有限公司

金牌11年 营业执照已上传

>
全部产品 进入商铺

JKZC-3CD-300三维纳米定位/扫描平台

JKZC-3CD-300三维纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。

 

 3d9dab61-cffc-418b-9943-72863ec16f20.png

1、典型应用

光学对准

纳米压印

显微成像/操纵

表面检测

高密度存储

测量技术

半导体加工

2、技术特点

亚纳米级分辨率

超高定位精度

无摩擦柔性较链导向

可正置/倒置

超高真空兼容性

高速、高动态

多运动模式：定位/扫描

 3、2D尺寸图

 

 1303152e-e863-4265-9051-56acd2d01840.png

 

 4、规格参数


JKZC-3CD-300

单位

运动触数

3


驱动类型

压电陶瓷


闭环行程

300x300x300

μm

闭环分辨率

2

nm

重复定位精度

10

nm

XY/Z向上的无负载谐频率

600/600/550

Hz

大负载

40

g

传感器类型

电容传感器


尺寸(LxWxH)

170x170x36.5

mm

白重

1778

g

电气接口

D-sub9/可定制


工作泗度

-20-80

℃

屏蔽线缆长度

2

m

材料

铝合金


 

5、适配控制器

 04aa914f-a064-4532-bcca-339d725a7f43.png