JKZC-CS-64 Tripod
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图文详情
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产品属性
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JKZC-CS-64 Tripod
JKZC-CS Tripod为适应紧凑及模块化的多轴运动系统，采用精密粘滑式压电驱动，并联刚柔耦合机构，在保证工作空间内高刚度的基础上，提供超精密的连续偏摆与升降。
1、典型应用
样品检验
精密微组装
光路切换
显微及纳米CT
机器视觉
半导体检测
2、技术特点
高精度、高稳定性
串并混联优化
空间精密调姿
紧凑化/轻量化/模块化设计
3、2D尺寸图
规格参数
JKZC-CS-64 | 单位 | |
运动轴 | Z,θx,θY | |
传感器类型 | 光栅编码器 | |
驱动类型 | 压电陶瓷 | |
Z向行程 | ±2 | mm |
θx,θY行程 | ±2,±2 | |
Z向重复定位精度 | 500 | nm |
θx,θY重复定位精度 | 10,10 | μrad |
Z向大速度 | 4 | mm/s |
θx,θY大速度 | 1.5 | °/s |
中心负载能力 | 3 | N |
自重 | 1 | kg |
尺寸(LxWxH) | 150x125x64 | mm |
工作温度 | 10-50 | ℃ |
电气接口 | D-sub9 | |
屏蔽线缆长度 | 2 | m |
材料 | 铝合金/钛合金 | |
真空(可选) | 超真空兼容(5x10-9) | mbar |
4、适配控制器
