JKZC-ST-FA五轴重载荷压电平台
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产品属性
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JKZC-ST-FA五轴重载荷压电平台
五轴重载荷压电平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
1、典型应用
大口径镜头测量
大型光机系统对准
大幅面干涉测量
镜组准直与稳定
纳米压印
显微成像/操纵
测量技术
集成电路检测
半导体加工
2、技术特点
亚纳米级定位稳定性
纳米级闭环运动分辨力
无摩擦柔性较链导向
大负载
空间多白由度
各级真空兼容性
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-ST-FA" | 单位 | |
运动轴 | X,Y,Z, θx,θY, θZ | |
传感器类型 | 电容式位移传感器 | |
驱动类型 | 压电陶瓷 | |
XY/Z闭环行程 | 100/100/40 | μm |
θx/θY闭环行程 | ±150/±150 | μrad |
X/Y分辨率 | <2 | nm |
Z分辨率 | <1 | nm |
θX/θY分辨率 | <20 | nrad |
X/Y/Z线性度 | 0.03% | |
X/Y/Z重复定位精度 | <10 | nm |
θX/θY重复定位精度 | 0.1 | μrad |
平台噪声 | <2 | nm |
大承载能力 | 35(另有50/100/150/200可选) | kg |
Z诺振频率@35kg | >100 | HZ |
θx/θY谐拟频率@35kg | >100 | HZ |
带载高工作频率 | 10 | HZ |
材料 | 铝合金/钛合金。 | |
自重 | 12 | kg |
工作温度 | 0-50 | ℃ |
尺寸(LxWxH) | φ475x103中空φ360 | mm |
5、适配控制器
