JKZC-ST-XYZ-100三维纳米定位/扫描平台
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图文详情
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产品属性
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JKZC-ST-XYZ-100三维纳米定位/扫描平台
JKZC-ST-XYZ-100三维纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动，通过高性能纳米何服系统实现闭环控制，具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
1、典型应用
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
表面检测
高密度存储
测量技术表面检测
半导体加工
2、技术特点
亚纳米级分辨率
超高定位精度
无摩擦柔性较链导向
可正置/倒置
超高真空兼容性
高速、高动态
多运动模式：定位/扫描
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-ST-XYZ-100 | 单位 | |
运动触数 | 3 | |
驱动类型 | 压电陶瓷 | |
闭环行程 | 100x100x100 | μm |
闭环分辨率 | 1/1/1 | nm |
最小步长 | 2/2/2 | nm |
XY/Z向上的无负载谐频率 | 600/600/550 | Hz |
大负载 | 200 | g |
传感器类型 | 电容传感器 | |
尺寸(LxWxH) | 40x40x42 | mm |
白重 | 150 | g |
电气接口 | D-sub9/可定制 | |
工作泗度 | -20-80 | ℃ |
屏蔽线缆长度 | 2 | m |
材料 | 铝合金 | |
真空(可选) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
真空版型号:NP-OL-Z-HV
5、适配控制器
