单轴长行程压电滑台
价格：电议
地区：北京市
电 话：010-61446422
手 机：15810615463
传 真：010-61446422
-
图文详情
-
产品属性
-
相关推荐
单轴长行程压电滑台
单轴长行程压电滑台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，具有数厘米级行程和纳米级运动精度。
1、典型应用
扫描电镜(SEM)样品操纵
主动光学
超分辨成像样品移动
大范围电子束直写(EBL
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
2、技术特点
长行程:10/20mm
高分辨率:传感器分辨率为1.22nm
超高精度:最小步长2nm
运动速度:可达5mm/s
超高真空兼容性
运动模式:支持开环与闭环
轻量化、结构紧凑，高可靠性
模块化设计，摩擦单元可替换
高稳定性:保持力可达5N
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-NL-1720 | JKZC-NL-1720 | 单位 | |
运动轴数 | 1 | ||
行程 | 10 | 20 | mm |
保持力(Force) | 1.5 | 1.5 | N |
承载力(Load) | 20(垂直方向) | 20(垂直方向) | N |
尺寸(LxWxH) | 22x23x10.5 | 30x23x10.5 | mm |
自重 | 165 | 260 | g |
速度 | 5 | mm/s | |
分辨率 | 1.22 | nm | |
最小步长 | 2 | um | |
传感器类型 | 光栅编码器(玻璃栅尺) | ||
电气接口 | D-sub9(可定制) | ||
线缆长度 | 2 | m | |
材料 | 铝合金/钛合金 | ||
真空(可选) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
5、适配控制器
