JKZC-UVZ-10B三自由度晶圆调节台

音圈电机驱动三自由度晶圆调节台，属于三轴并联运动机构。通过三个线性移动轴的并联运动实现Z轴线性运动和θxθy轴旋转运动。可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、任意圆心旋转等复杂运动。

1、典型应用

品圆检测与量测

硅片对准与定位

显微操作

视觉伺服

大视场成像

半导体封装。

芯片与器件测试

光学对准与操作

MEMS制造与检测

激光加工

2、技术特点

高精度:音圈电机具有较高的定位精度和重复定位精度，可以满足高精度应用的需求。

高响应速度:音圈电机的响应速度快，可以快速响应控制信号，实现快速运动。

高可靠性:音圈电机的结构简单，故障率低，具有较高的可靠性。

低噪音:音圈电机的运行噪音低，适合在需要低噪音的场合使用。

3、2D尺寸图

4、规格参数

5、适配控制器