JKZC-XY-16A 双轴长行程压电滑台
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JKZC-XY-16A 双轴长行程压电滑台
JKZC-XY-16A双轴长行程压电滑台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，具有数厘米级行程和纳米级运动精度。
1、典型应用
扫描电镜(SEM)样品操纵
主动光宇
超分辨成像样品移动
大范围电子束直写(EBL)
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
2、技术特点
超长行程:16mm
高分辨率:传感器分辨率为1.22nm
超高精度:最小步长2nm
运动速度:可达5mm/s
稳定性:保持力可达3N
超高真空兼容性
运动模式:支持开环与闭环
轻量化、结构紧凑，高可靠性
模块化设计，摩擦单元可替换
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-XY-16A | 单位 | |
运动轴数 | 2 | |
行程 | 16 | mm |
保持力(Force) | 3 | N |
大承载力(Load) | 20 | N |
尺寸(LxWxH) | 52x52x22.5 | mm |
自重 | 135 | g |
大速度 | 5 | mm/s |
分辨率 | 1.22 | nm |
最小步长 | 2 | nm |
传感器类型 | 光栅编码器(玻璃栅尺) | |
电气接口 | D-sub9(可定制) | |
线缆长度 | 2 | m |
材料 | 铝合金/钛合金 | |
真空(可选) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
5、配控制器
