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JKZC-XY-100A双轴长行程压电滑台
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JKZC-XY-100A双轴长行程压电滑台

JKZC-XY-100A 双轴长行程压电滑台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，具有数厘米级行程和纳米级运动精度。

 

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1、典型应用

扫描电镜(SEM)样品操纵

主动光学

超分辨成像样品移动

大范围电子束直写(EBL)

微纳装备及制造

集成电路制造与检测

高真空样品精度对准及调姿

纳米聚焦与扫描

显微及纳米CT

2、技术特点

超长行程:100mm

高分辨率:传感器分辨率为1.22nm

超高精度:最小步长2nm

运动速度:可达5mm/s

稳定性:保持力可达3N

超高真空兼容性

运动模式:支持开环与闭环

轻量化、结构紧凑，高可靠性

模块化设计，摩擦单元可替换

 

3、2D尺寸图

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4、规格参数


JKZC-XY-100A

单位

运动轴数

2


行程

100

mm

保持力(Force)

3

N

大承载力(Load)

50(垂直方向)

N

尺寸(LxWxH)

175x175x40

mm

自重

2500

g

大速度

5

mm/s

分辨率

1.22

nm

最小步长

2

nm

传感器类型

光栅编码器(玻璃栅尺)


电气接口

D-sub9(可定制)


线缆长度

2

m

材料

铝合金/钛合金


真空(可选)

超真空兼容(5x10”)

mbar

 5、适配控制器

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