纳米微位移传感器主机
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纳米微位移传感器主机
JKZC-CDM-0x系列微位移传感器主机专为紧凑型应用设计，内置前置放大器、滤波器和信号调理电路，并针对适配探头进行驱动优化，适合于集成型应用。
以多通道控制器为核心的电容式微位移传感器用于对指标有着极高要求的超精密测量应用。内置不同的工作模式来分别适应以静态指标为主的计量型测量和以动态指标为主的实时应用，以及兼顾动态和静态指标的高带宽超精密反馈控制系统应用。多通道控制器内置通道同步功能，支持最多6通道的同步测量，用于厚度检测、旋转偏差校正等应用。
1、应用领域
纳米级运动测量
精密光学制造
超精密机床
超精密面型测量
微细形变测量
集成电路制造
2、技术特点
高精度
兼容动态和静态指标
可设置多通道同时输出和每个通道独立输出
体积小、重量轻，通过连接主体兼容多个通道
3、规格参数：
规格型号：
型号 | JKZC-CDM-100S | JKZC-CDM-100S | JKZC-CDM-100S | CDN300+前置放大器CPA110 | CDN600+前置放大器CPA110 |
适配探头 | JKZC/506-100 | JKZC/510-200 | JKZC/20-2000 | ||
递道数 | 1 | 1 | 1 |
电气特征：
输出 | 模拟 | 模拟 | 模拟 | 搜:可乳,默认士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232实时:SPI | 搜:可乳,默认士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232实时:SPI | ||
电源 | ±15VDC | ±15VDC | ±15VDC | 220WAC | 220WAC | ||
内置前置放大器 | 是 | 是 | 是 | 静态分辨率 | 0.00004%FSR | 0.00004%FSR | |
量程 | 100um | 200um | 2000um | 动态分辨率@2kHz | 0.00013%FSR | 0.00013%FSR | |
分辣率RMS | 2Hz | 0.02nm | 0.04nm | 0.31nm | 带宽 | 可调，默认2kHz | 可调,默认2kHz |
25Hz | 0.04nm | 0.08nm | 0.78nm | 数据输出速率 | 可调，默认3*10kHz | 可调，默认6*10kHz | |
1KHz | 0.11nm | 0.21nm | 1.16nm | 重复性 | 0.00017%FSR | 0.0001T%FSR | |
2KH2 | 0.15nm | 0.30nm | 1.53nm | 线性度 | 0.00017%FSR | 0.015%FSR | |
默认带宽 | 2kHz | 2kHz | 2kHz | 同步测量 | 支持 | 支持 | |
重复性 | 0.21nm | 0.39nm | 2.1nm | 触发输出 | 4路TTL。事件可配置 | 8路TTL。事件可配置 | |
其他:
工作温度范围 | -20-100°C | 0-70°C | 0-70°C |
请用探头电揽 | 1.5m,2m.2.5m | 1.5m,2m.2.5m | 1.5m,2m.2.5m |
尺寸 | CDM-006/CDM 300/CDM 600 | 342mmx250mmx132mm | 150mmx250mmx 132mm |