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高精度JKZC-IM系列
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高精度JKZC-IM系列

JKZC-IM系列高精度六自由度并联运动平台可实现多自由度运动，动态范围大，承载大，稳定性强，任意指定转动中心，可满足各种工业需求，适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。

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1、典型应用

半导体封测

主动光学

生物技术

视觉装配

显微操纵

光纤校准

2、技术特点

亚纳米级定位稳定性

纳米级闭环运动分辨力

无摩擦柔性铰链导向

大负载

空间多自由度

各级真空兼容性

3、2D尺寸图

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4、规格参数

支持非标定制

JKZC-IM-86

单位

运动轴

X,Y,Z,θX,θY,θZ


传感器类型

光栅传感器


驱动类型

压电陶瓷


X/Y/Z闭环行程

10/10/6

mm

θX/θY/θZ闭环行程

±3/±3/±2

*

Z向最小位移增量

5

nm

θX,θY最小位移增量

15,15

°μ

Z向速度

4

mm/s

θX,θY速度

1.5

°/s

负载能力

3

N

材料

铝合金


自重

1.12

kg

工作温度

0-50

℃

尺寸

φ175x86.58

mm

 

5、适配控制器

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