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高速纳米扫描台
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高速纳米扫描台

高速纳米扫描台基于音圈电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动，内置光栅位移传感器，具有纳米级运动分辨率和运动精度，同时兼具高速、高动态位移定位和扫描功能。

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1、典型应用

光学系统中透镜的定位

机械工具的多坐标定位平台

医学装置中精密电子管、真空管控制

柔性机器人中使未端执行器快速定位

2、技术特点

超高定位精度

高动态特性

多运动模式:定位/扫描

超长行程

3、2D尺寸图

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4、规格参数


JKZC-Z-10A

单位

运动轴

Z(可横放)


驱动类型

音圈电机


音圈频率

≤20

Hz

Z向行程

10

mm

竖直负载

800

g

分辨率

1.22

nm

最小步长

5

nm

传感器类型

光栅编码器

mm

尺寸(LxWxH)

90x112x62

℃

工作温度

10-50


电气接口

D-sub9(可定制


线缆长度

2

m

材料

铝合金/钛合金


真空(可选)

超真空兼容(5x10)

mbar

 5、适配控制器

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