高精度旋转平台
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高精度旋转平台
高精度旋转平台基于粘滑仿生运动原理及整/亚步复合纳米运动技术，提供连续旋转的同时保证纳米级分辨率，拥有极高的可拓展性和可集成性。
1、典型应用
样品检验
精密微组装
光路切换
显微及纳米CT
机器视觉
半导体检测
2、技术特点
高精度、高稳定性
高运动速度
轻量化设计且结构紧凑
支持开环和闭环模式
超高真空兼容性
可提供轴心补偿模块抑制轴心晃动
高可靠性及模块化设计，摩擦单元可替换
满足各种应用场景
3、2D尺寸图
4、规格参数
JKZC-RP-100C | 单位 | |
传感器类型 | 光栅编码器 | |
行程 | 360 (θZ) | ° |
驱动类型 | 压电陶瓷 | |
竖直负载 | 4 | kg |
最小步长 | 0.4 | μrad |
单向重复定位精度(@360°) | ±1.5 | μrad |
双向重复定位精度(@360°) | ±2.5 | μrad |
转动力矩 | 0.3 | Nm |
尺寸 | φ100x17 | mm |
工作温度 | 10-50 | ℃ |
电气接口 | D-sub9 | |
屏蔽线缆长度 | 2 | m |
材料 | 铝合金/钛合金 | |
真空(可选) | 超真空兼容(5x109) | mbar |
5、适配控制器
