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FH1301D三轴数字加速度计、MEMS三轴数字型加速度传感器 MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器
简介
FH1301D三轴数字加速度计是有我公司自行研制,用于测量加速度的传感器。它采用高精度、低噪声MEMS芯片, 具有BIMOS信号限制电路。设计考虑多用户的需求,制造采用表贴工艺 技术。具有高可靠性和高封装坚固性特点,自检测(Self-Test)功能。
本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、 倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。


二、 原理
FH1301D三轴数字加速度计是建造在硅晶片顶部的表面MEMS 多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构,并提供一个克服加速度 感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央 板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏转,从而产生电压输出信号。
三、 性能指标
FH1301D 技术参数 | |
X、Y、Z轴(g)测量范围 | ±2 (±4 ±8 ±10 ±20 ±40)可选 |
频响(Hz) | 0-250 |
零偏(mg) | <2 |
零偏稳定性(mg) | <2 |
零偏重复性(mg) | <2 |
非线性度(% F.S) | <0. 1 |
输岀接口 | RS422 |
数据更新率(可设) | 500hz@460800 (zui高 1000hz) |
供电要求 | |
供电电压(VDC) | 9-12 |
输入电流(mA) | <20 |
工作环境 | |
使用温度(°C) | -40 to +80 |
耐加速度0.1ms | 5000g |
重量、体积
| |
重量(g) | <50 |
尺寸(mm) | 26*26*13.2 |
四、通讯协议 MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器
接口形式:RS422
数据格式:1个起始位,8个数据位,无校验,1个停止位,高在前,低在后。
MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器





