MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器
价格:1000.00
地区:陕西省 西安市
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FH1301D三轴数字加速度计、MEMS三轴数字型加速度传感器 MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器

简介

FH1301D三轴数字加速度计是有我公司自行研制,用于测量加速度的传感器。它采用高精度、低噪声MEMS芯片, 具有BIMOS信号限制电路。设计考虑多用户的需求,制造采用表贴工艺 技术。具有高可靠性和高封装坚固性特点,自检测(Self-Test)功能。

本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、 倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。

二、     原理

FH1301D三轴数字加速度计是建造在硅晶片顶部的表面MEMS 多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构,并提供一个克服加速度 感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央 板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏转,从而产生电压输出信号。

三、     性能指标

FH1301D 技术参数


X、Y、Z轴(g)测量范围

±(±4 ±8 ±10 ±20 ±40)可选

频响(Hz)

0-250

零偏(mg)

<2

零偏稳定性(mg)

<2

零偏重复性(mg)

<2

非线性度(% F.S)

<0. 1

输岀接口

RS422

数据更新率(可设)

500hz@460800 (zui高 1000hz)

供电要求


供电电压(VDC)

9-12

输入电流(mA)

<20

工作环境


使用温度(°C)

-40 to +80

耐加速度0.1ms

5000g

重量、体积

 

 


重量(g)

<50

尺寸(mm)

26*26*13.2

 

、通讯协议    MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器

接口形式:RS422

数据格式:1个起始位,8个数据位,无校验,1个停止位,高在前,低在后。

MEMS数字型三轴加速度计-MEMS传感器