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激光粒子计数器是一种利用激光散射原理对空气中或液体中的微小颗粒进行计数和粒径分析的精密仪器,以下是具体介绍:
工作原理
空气颗粒检测:基于米氏散射理论,当激光束照射到空气中的粒子时,粒子会使光线向各个方向散射。散射光的强度、角度等特性与粒子的大小、形状、折射率等相关。仪器通过光电探测器捕捉散射光信号,并将其转换为电脉冲信号,再经信号处理系统对电脉冲进行分析和计数,从而得出单位体积内不同粒径粒子的数量6。
液体颗粒检测:当激光穿过含有颗粒的液体时,颗粒会散射激光,产生与颗粒大小和数量相关的散射光信号。仪器通过检测散射光信号,经过类似的光电转换和信号处理过程,计算出液体中颗粒的粒径分布和数量。
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结构组成
激光光源系统:提供稳定的激光束,如半导体激光二极管等,其波长和功率会影响粒子散射效果和检测灵敏度。
测量腔:是粒子与激光相互作用的区域,设计需保证激光均匀照射和粒子充分散射,通常有进气口和出气口,使空气或液体样品能稳定流过。
光电探测系统:由光电探测器、透镜组等组成,将散射光转换为电信号并进行初步放大和处理,常用光电二极管、光电倍增管等探测器。
信号处理系统:对光电探测系统输出的电信号进行进一步放大、滤波、甄别、计数等处理,通过算法计算出粒子的粒径和数量,并进行数据存储、显示和传输。
流量控制系统:精/确控制空气或液体样品的流量,确保测量的准确性和重复性,如质量流量控制器、蠕动泵等。
显示与控制系统:一般为液晶显示屏和操作按键或触摸屏,用于显示测量数据、设置参数和控制仪器运行。
主要功能
粒子计数:可对单位体积内的尘埃粒子、微生物颗粒等进行精/确计数,如每立方米空气中 0.3 微米、0.5 微米等不同粒径粒子的数量。
粒径分析:能分析不同粒径区间的粒子分布情况,如 0.3-0.5 微米、0.5-1 微米等区间内粒子的占比。
数据存储与传输:可存储大量测量数据,支持 USB、RS232、以太网等多种数据传输方式,方便与计算机连接进行数据管理和分析。
报警功能:用户可设置粒子浓度或粒径阈值,当测量值超过阈值时仪器自动报警。
自净功能:部分仪器具有自净能力,在测量间隙或测量前对测量腔等进行自动清洁,减少残留粒子对后续测量的影响。
应用领域
电子半导体行业:监测洁净室、无尘车间的空气质量,确保生产环境中粒子浓度符合要求,防止粒子污染芯片等精密电子产品,影响产品性能和良率。
制药行业:用于药品生产车间、实验室、洁净仓库等场所的空气洁净度检测,保证药品生产过程不受微粒污染,符合药品生产质量管理规范(GMP)要求。
食品饮料行业:检测生产车间、包装车间的空气质量,以及原料、成品中的颗粒杂质,保障食品安全和品质。
航空航天领域:对飞机座舱、航天飞行器内部环境的空气质量进行监测,以及对航空燃油、液压油等液体中的颗粒污染物进行检测。
环境监测:用于大气环境质量监测,了解空气中可吸入颗粒物、PM2.5、PM10 等的浓度和分布情况,为环境质量评估和污染防治提供数据支持。
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测量精准