配备四路配气系统，流量计精准控制;每个箱体配备一个GE露点仪Moisture Target'm Series 6与VeriDri探头，精准检测水分情况。主箱体配置EC913SYSTECH(稀仕代);配置两套真空独立烘箱，烘箱为七层设计，各层之间独立精准控温，温度土1℃℃;内外门互锁装置，结构严谨精密。