TESCAN CLARA 超高分辨场发射扫描电镜

简介：新型的 BrightBeam" 镜筒配置了静电-电磁复合透镜，纵贯整个镜筒内部的加速器可以保证电子在整个镜筒内全程处于高能量，减少 Boersch效应。这种设计显著减小了像差，可以很好的提升低电压下的分辨率。此外，加速管本身的屏蔽作用使得电子束不容易受到环境(杂散)磁场的影响。因此，无需施加样品减速偏压，即可实现 50 ev 的低着陆能量，并能获得高质量的图片。扫描线圈和双物镜的相互配合设计，可以提供超大的视野范围，对样品的实时导航也变的轻松而便捷，进而可以快速定位感兴趣区域。

超高分辨场发射扫描电镜主要特点：

1、独特的镜筒内探测器设计可以根据能量和角度选择不同的电子信号

超高分辨场发射扫描电镜镜筒内 BSE 探测器安装的特殊位置使得它们可以同时采集不同出射角的背散射电子(BSE)。Axial BSE 探测器收集近轴高角 BSE信号，Multidetector 探测器则收集中角BSE信号，而这两个信号是明显不同的。通过AxialBSE 探测器我们可以抑制样品的表面形貌引起的干扰，从而观察到的材料成分衬度。相比之下，Multidetector探测器收集中角背散射电子，获得既有成分衬度又有形貌衬度的图像，凸显出试样的综合衬度。Multidetector配有能量过滤器，可以实现二次电子信号和背散射电子信号的过滤，以便增强背散射电子的衬度。

2、电子東敏感样品和非导电样品的理想选择

完美的镜筒和探测器系统的一体化设计，无需施加样品减速偏压，即可实现电子束 50ev 的低着陆能量，避免了样品损伤和荷电效应，并实现出色的成像性能，是观察各种不导电样品的理想选择。

3、电子束的快速设置-实现的成像和分析条件

EquiPower?透镜技术可实现高效的散热并保证电子镜筒的稳定性，同时结合使用了实时电子束实时优化技术，使 TESCAN CLARA 能够在全部束流范围下获得优异的高分辨率图像和(EDS/EBSD)分析能力。

4、无漏磁超高分辨透镜，低电压下实现材料表面形貌细节的高灵敏表征

BrightBeam? 镜筒实现无漏磁超高分辨率成像能力，对包括磁性样品在内的各类样品具有广泛的适用能力。

超高分辨场发射扫描电镜应用：

1、纳米级金属样品的常规研究和工业检验

样品的常规检测通常是质量控制过程的重要部分也是生产和优化生产过程的关键。因而，使用扫描电子显微镜进行材料研究或样品检查是世界上许多公司或研究机构的常见做法。CLARA 的 BrightBeam" 技术可以实现检测多种信号，从而更具体、详细的揭示样品所包含的信息。对于化学或物相角度分析需求，TESCAN CLARA 配置的 BrightBeam… 镜筒和无漏磁静电-电磁复合透镜，支持在更大范围的束流下对任意样品进行高空间分辨的EDS和EBSD 分析。

2、纳米粒子和各种团聚体的常规成像

对于世界各地科研领域的研究实验室以及质量控制实验室的研究人员而言，处理和分析颗粒状的材料是项日常工作。颗粒是工业领域中许多工艺的前驱体材料。我们通常需要使用超高分辨扫描电镜(UHRSEM)进行检测、表征超细的纳米级颗粒。TESCAN CLARA能够在低电压下对这种纳米粒子进行成像，揭示出在较高加速电压下不可见的特征。

3、电子東敏感和不导电材料的分析

使用超高分辨场发射扫描电镜对电子束敏感和不导电样品成像往往是件非常具有挑战性的工作，经常会需要采用特殊的办法才能在避免样品损伤和荷电效应。其中一个解决方案是，在低电压下观察以减少电子束对样品的损伤以及荷电效应。TESCANCLARA的 BrightBeam"系统配置的创新的电子光学镜筒和强大的多款探测器非常适用于这类应用。它可以根据每个样品的需要来调整束流，在获得超高分辨成像的同时也可以保证样品不会受到损伤，而且也不会因为荷电现象而导致图像或对比度失真。