四探针电阻率测试仪 型号:YK22-FT-333库号：M251813 

适用范围：

适用于企业、高等院校、科研部门，是检验和分析半导体材料质量的工具；液晶显示，自动测量和系数补偿，并带有温度补偿功能，自动转换量程；采用AD芯片控制，恒流输出

参照标准：

硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及标准设计制造；GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探法》.

1.方块电阻范围 10-3～2×105Ω/□

2.电阻率范围 10-4～2×106Ω-cm 

测试电流范围 0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

4.电流精度 ±0.2% 

5.电阻精度 ≤0.3%

6.显示读数 液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探形状、探间距、厚度 、电导率

7.测试方式 普通单电测量

8.工作电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W 

9. ≤4%（标准样片结果）

10.选购功能 选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台；5.标准电阻

11.测试探头 探间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探材质选购：碳化钨;白钢；镀金磷铜半球形

适用范围：

适用于企业、高等院校、科研部门，是检验和分析半导体材料质量的工具；液晶显示，自动测量和系数补偿，并带有温度补偿功能，自动转换量程；采用AD芯片控制，恒流输出

参照标准：

硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及标准设计制造；GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探法》.

1.方块电阻范围 10-3～2×105Ω/□

2.电阻率范围 10-4～2×106Ω-cm 

测试电流范围 0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

4.电流精度 ±0.2% 

5.电阻精度 ≤0.3%

6.显示读数 液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探形状、探间距、厚度 、电导率

7.测试方式 普通单电测量

8.工作电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W 

9. ≤4%（标准样片结果）

四探针电阻率测试仪四探针电阻率测试仪四探针电阻率测试仪四探针电阻率测试仪

10.选购功能 选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台；5.标准电阻

11.测试探头 探间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格; 探材质选购：碳化钨;白钢；镀金磷铜半球形