气体质量流量计 型号:DF226-MF3000库号：D409204 

MF3000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流

量，适用于各类清洁、干燥气体。MF3000测量范围覆盖

(0~2)SLPM到(0~1500)SLPM，大工作压力提高到

0.8MPa。MF3000提供多种信号输出，通过RS485或IC数

字通讯接口可实现远程数据采集与设置，并可NPN或

PNP开关信号输出。MF3000同时具备LED数字显示和按键

功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。

产品特点

.质量流量，时域传感技术

.全量程覆盖(0-2)SLPM到(0~1500)SLPM

全量程高度和优良的重复性

可测量多种气体不需要特别修正

多种输出信号可选

支持多种连接方式，易于安装与使用

大流量

空气,氮气,氧气,氧气

2，5，10，20，50

100，200

500，1000，1500

SLPM

二氧化碳

2。5，10，20，50

100

200，500.800

SLPM

量程比

50:1

精度12

±(2.5+0.5FS)

重复性

0.8+0.15FS

%

零点稳定度

±30

mV

输出漂移

±0.12

%/℃

响应时间

10

ms

工作电源

8~24VDC，50mA

信号输出1

RS485或IC

信号输出2/3

模拟电流4-20mA/模拟电压1-5VDC/NPN /PNP

显示方式

4位7段LED数码管，2个指示灯

显示单位

瞬时流量:SLPM:累积流量:SL或Nm

显示分辨率

请见运行模式和菜单设置模式

大工作压力

0.8

MPa

工作温度

-10~+55

储存温度

-20~+65

工作湿度

<95%RH(无结冰、无凝露)

机械接口

BSPT1/4外螺纹，BSPT1/4外螺纹。

4/6/8mm快速接头

8mm快速接头

:BSPT1/2内螺纹

或8mmL型接头

或8mmL型接头

按键

三个按键

方式

空气(20℃，101.325kPa)

电气接口

6插座，广濑:DF51K-6P-2DS

符合性

气体质量流量计气体质量流量计气体质量流量计气体质量流量计

RoHS，REACH