主要性能指标： 

玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸：Φ58mm 

真空系统：直联旋片真空泵2L／S 

真空检测：皮氏计 

真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气调节

主要性能指标： 

玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸：Φ58mm 

真空系统：直联旋片真空泵2L／S 

真空检测：皮氏计 

真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气调节

主要性能指标： 

玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸：Φ58mm 

真空系统：直联旋片真空泵2L／S 

真空检测：皮氏计 

真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气调节

主要性能指标： 

玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸：Φ58mm 

真空系统：直联旋片真空泵2L／S 

真空检测：皮氏计 

真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气调节

主要性能指标： 

玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm 

试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯 

金靶尺寸：Φ58mm 

真空系统：直联旋片真空泵2L／S 

真空检测：皮氏计 

真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空 

工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气调节

主要性能指标： 

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