D07-11C是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以测量气体的质量流量。D07-11产品高耐压10MPa。

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量；质

量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量

和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、和

真空等多种领域的科研和中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,

如扩散、氧化、外延、CVD、等子刻蚀、溅射、子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔

炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启

动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,

可意位置安装, 并便于与连接实现自动控制。

D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用

特点

　　? 高耐压性

　　? 橡胶密封、模拟电路的MFC

　　? 采用DB15型电插头，标准机械接头

　　? CE，兼容

技术参数

类型：D07-11C 

流量规格：( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

准度：±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

线性：±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

重复精度：±0.2 %F.S

响应时间：电特性:10sec 气特性:≤4sec

大工作压力：10 MPa

气压降：-

工作压差范围：≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa

＞10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa

耐压：10 MPa

工作环境温度：5 ℃ ~ 45 ℃

输入输出信号：0 V ~ +5.00 V

(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

电源：+15 V 50 mA，-15V 200 mA

重量：1.2kg