Inficon 真空计 型号:TR48-PEG100-351-000库号：M408162 

测量范围广：5 X 10-7～1 Pa

全金属冷阴极陶瓷传感器

几何电极提供了的点火性能

降低等子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样

阳极环和钛阴极可清洗，换容易

小磁场强度测量

指示灯电源和等子点火

对数模拟输出信号

Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信

用 途 

高真空压强监测

蒸发和溅射系统

中, 高真空范围的一般真空测量与控制

测量范围广：5 X 10-7～1 Pa

全金属冷阴极陶瓷传感器

几何电极提供了的点火性能

降低等子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样

阳极环和钛阴极可清洗，换容易

小磁场强度测量

指示灯电源和等子点火

对数模拟输出信号

Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信

用 途 

高真空压强监测

蒸发和溅射系统

中, 高真空范围的一般真空测量与控制

测量范围广：5 X 10-7～1 Pa

全金属冷阴极陶瓷传感器

几何电极提供了的点火性能

降低等子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样

阳极环和钛阴极可清洗，换容易

小磁场强度测量

指示灯电源和等子点火

对数模拟输出信号

Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信

用 途 

高真空压强监测

蒸发和溅射系统

中, 高真空范围的一般真空测量与控制

测量范围广：5 X 10-7～1 Pa

全金属冷阴极陶瓷传感器

几何电极提供了的点火性能

降低等子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样

阳极环和钛阴极可清洗，换容易

小磁场强度测量

指示灯电源和等子点火

对数模拟输出信号

Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信

用 途 

真空计真空计真空计真空计

高真空压强监测

蒸发和溅射系统

中, 高真空范围的一般真空测量与控制