产品特点

 安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合使用。

 流量规格(N2标定)

0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

 0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM

注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内选,例如123SCCM。

 输入输出信号

0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)

流量规格1:（N2)产品特点

 本产品具有稳定、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合使用。

 流量规格(N2标定)

0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

 0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM

注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内选,例如123SCCM。

 输入输出信号

0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)

流量规格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM

调节阀类型：常闭型

 量程比：2-FS或者50:1

流量分辨率：0.1%FS

准度：1%FS 小于15SLM

 2%FS 大于15SLM

线性：0.5%FS 小于15SLM

 2%FS 大于15SLM

重复精度：0.2%FS

相应时间：小于2S

工作压差范围：0.1-0.5MPA 小于10SLM

 0.1-0.3MPA 大于10SLM

大耐压：3MPA

工作环境：5-45度

 电缆接头：DB15pin(形）

 输入输出信号：0-5V（输入抗阻大于100K欧 输出电流不大于3MA）

 供电电源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA

对外单点泄漏

≤1X10 9Pa. m2/S (He)

介质接触材质

316，316L， 密封填料

 密封材料

 橡胶NBR，三元乙丙橡胶EPDM，氯丁橡胶CR，硅橡胶VMQ,

氟橡胶FKM，全氟橡胶FFKM，聚四氟乙烯PTFE

 VCR型接头: 1/4"

管道接头尺寸

 双卡套型接头: 1/8”、1/4"、3/8”或φ3、中6、φ8、φ10 mm

外形尺寸

 长X宽X高: 127X30X 100 mm

净重量

0.88kg气体质量流量控制器气体质量流量控制器气体质量流量控制器气体质量流量控制器