真空度测试仪（中西器材） 型号:M25257库号：M25257

真空度测试仪（中西器材） 型号:M25257库号：M25257

真空度测试仪（中西器材） 型号:M25257库号：M25257

真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的鉴定设备。它以单片计算机为主控单元，测试过程完全实现自动化。该仪器在原理上改变了外同类产品采用电流峰值做标定的方法，而采用离子电荷来做标定。这样，在物理原理上有的准确性，而且，有效地抑制了测试过程中脉冲电源的干扰，使测试稳定。

该仪器采用两次采样的方法扣除由于环境因素产生的漏电电流，并且在测量过程中考虑了完全漏气的真空灭弧室的判别，做到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前，该仪器中已存有26条真空灭弧室的测量标准曲线，涵盖了外大多数管型。

1、基于电离电荷的采样技术

ZKY2000型真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我厂在磁控放电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室里的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值概率上的相关性。因此，我厂了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。

2、漏电电流的处理

对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时，会有数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的缘支撑件也有漏电，这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性，并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。

技术参数

1、测量范围：1*10-5～1*10-1pa

2、测量误差：l*l0-4～1*l0-1pa中误差<5%

3、测量分辨率：10-5pa

4、允许环温：O℃～55℃

5、空气湿度：<85%RH

6、电  源：AC220士10%

7、外型尺寸：430X300X235mm