导电型号测试仪 型号:CN61M-STY-1
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导电型号测试仪 型号:CN61M-STY-1库号:M222266   查看hh

导电型号测试仪是严格按照SEMI MF42-1105、/T 1550-1997(非本征半导体材料导电类型的标准测试方法)中的热探针法设计的导电类型鉴别仪。


本仪器热探笔内装有加热和控温组件,自动加热并使温度维持在40-60℃范围内,冷热探笔在半导体材料上产生的热电动势,经低噪声、低漂移的集成运算放大器放大后,用宽表面检流计指示型号方向,并可定量测出热电流的数值大小。仪器灵敏度可调,可在的电阻率(从高阻单晶到重掺单晶)范围内判别半导体材料型号。


技术参数


(1)可判别锗、硅材料的电阻率范围:


锗:非本征锗~10-4Ω·cm ,硅:103~10-4Ω·cm


实验证明:在室温情况下,对于电阻率低于1000Ω·cm的N型和P型硅,本方法结果。


(2)热电流测量范围:0~±1μA 分六个量程:


±3nA、±10nA、±30nA、±100nA、±300nA、±1μA


大偏转灵敏度:1×10-11A/格


(3)锗、硅单晶直径及长度:不受限制。


(4)显示方式:刻度为零位的宽表面指针指示器,指针向正方向偏转被测样品为P型,指针向负方向偏转被测样品为N型。


(5)探针:选用SEMI MF42-1105标准中建议的不锈钢作探针材料,针尖为60°锥体,热笔温度自动保持在40-60℃范围内,冷笔与室温相同。


(6)电源及功耗:AC 220V±10%,50HZ交流供电,耗电小于10W。


(7)外型尺寸:170×160×230(mm)


(8)重量:约2.5kg