Inficon 真空计 型号:TR48-PEG100-351-000库号：M408162  

测量范围广：5 X 10-7～1 Pa
全金属冷阴极陶瓷传感器
几何电极提供了极好的点火性能
降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样
阳极环和钛阴极可清洗，更换容易
小磁场强度测量
LED指示灯电源和等离子点火
对数模拟输出信号
Fieldbus总线接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系统的网络通信

用 途

高真空压强监测
蒸发和溅射系统
中, 高真空范围的一般真空测量与控制