质量流量控制器  库号：D326674

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D07-23FM 流量计与 D07-23F 型控制器相比，在结构上的不同点就是少了电磁调节阀，

其它部分基本相同！

质量流量计 (Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、和真空等多种领域的科研和中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工

艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件工作), 采用标准接头, 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。

D07-23F 型质量流量控制器和质量流量计均为 24V 单电源供电，一般与我公司 D08-1K型流量显示仪配使用

主要技术指标

表 1. D07-23F 型 MFC 性能指标

编号 项 目 D07-23F 型

1 流量规格 0~20,30,50,100,150,200,250 SLM

2 流量控制范围 2~ of F.S.

3 准确度 ±1.5% F.S.

4 线性 ±1% F.S.

5 重复 ±0.2% F.S.

6 响应时间 ≤ 3sec

7 工作压差范围

20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid)

50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid)

200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)

8 大工作压力 1 MPa (145psig)

9 耐压 3 MPa (435.1 psig)

10 温度系数 Zero: ≤ ± 0.1% F.S. /℃; Span: ≤ ± 0.2% F.S. /℃;

11 工作环境温度 5℃ ~ 45℃

12 输入信号 4~20 mA 或 1~5 VDC

13 输出信号 4~20 mA 或 1~5 VDC

14 电源 24VDC 400 mA

15 外形尺寸

16 重量 2.6 kg