仪器概述

Xray镀层厚度检测仪Thick800A是一款应用广泛的能量色散型X射线荧光光谱仪，使用大铍窗超薄窗口高分辨率的SDD探测器，其探测器分辨率为139eV，处于国际先进水平；产品采用上照式设计，多重防辐射保护装置以及X射线发生器，使辐射剂量符合国际规定；样品观察系统采用CCD摄像头、数字多道分析器、激光定位以及自主研发的专用测厚分析软件，各项指标均符合相关技术要求，技术达国际先进水平。

Xray镀层厚度检测仪应用原理

Xray镀层厚度检测仪采用XRF光谱法

X射线荧光法（XRF）：能量X荧光光谱侧厚法(质量膜厚)

测试原理：XRF测厚是通过X射线激发各种物质（如Mo、Ag、Mn）的特征X射线，然后测量这被释放出来的特征X射线的能量对样品进行进行定性，测量这被释放出来的特征X射线的强度与标准片（或者对比样）对比得出各物质的厚度，这种强度和厚度的对应关系在软件后台形成曲线。而各种物质的强度增加，厚度值也增加，但不是直线关系；通过标样和软件及算法（算法有FP法和经验系数法）得到一个最接近实际对应关系的曲线

Xray镀层厚度检测仪应用优势

1 快速：一般测量一个样品只需要30S～300S，样品可不处理或进行简单处理；

2   无损：物理测量，不改变样品性质；

3   准确：对样品可以分析；

4 直观：直观的分析谱图，元素分布一幕了然，定性分析速度快；

5   环保：检测过程中不产生任何废气、废水。

产品技术参数

技术参数

1   型号 Thick800A

2 外型尺寸                           576(W)×495(D)×545(H) mm

3 样品室尺寸                         500(W)×350(D)×140(H) mm

4   样品台尺寸                        230(W)×210(D)mm

5   Z轴升降平台升降范围           0～140mm

6   平台移动测量范围              50mm(W)×500mm(D)×135mm(H)

7   *分析方法 FP与EC法兼容能量色散X荧光分析方法

8   测量元素范围 原子序数为16S～92U之间的元素均可测量

9   *同时检测元素 可同时分析最多24个元素，五层镀层

10  *检出限                       金属镀层分析最薄可达0.005μm

11  厚度范围                      分析镀层厚度一般在50μm以内（每种材料有所不同）

12  稳定性                        多次测量重复性可达1%

13  检测时间 30-60秒

14  *探测器及分辨率 25mm2Be窗口SDD探测器，分辨率140±5eV

15  激发源  50KV/1000uA-W靶X光管及高压电源

16  *多道分析器                   DMCA数字多道分析技术，分析道数4096道

17  准直器和滤光片 固定Ф0.2mm准直器，可选配其他孔径，Al滤光片

18  定位                      平台电机重复定位小于0.1um

19  样品观察                      配备CCD多彩摄像头，图像放大可达40倍，实现微小样品清晰定位。

20  平台稳定性                    Z轴测试平台采用恒力弹簧平衡重力，实现平台的恒力升降，有效降低Z轴电机负荷，并有效保证了Z轴的垂直度。

21  安全性 双重安全保护设施：防撞激光检测器与样品室门开闭传感器；待机无辐射，工作时辐射水平远低于国际安全标准，且具有软件连动装置。

22  操作环境温湿度 15℃～30℃，≤70%

23  仪器重量 90kg

24  工作电源                      交流220V±5V, 建议配置交流净化稳压电源

五、软件优势

   采用公司的能量色散X荧光FpThick软件，先进的FP法和EC法等多种方法嵌入的人性化应用软件，具有高灵敏度、测试时间短、一键智能化操作。谱图区域采用动态模式，测试时元素观察更直观。

   具有多种测试模式设置和无限数目模式自由添加，内置强度校正方法，可校正几何状态不同和结构密度不均匀的样品造成的偏差。 

Xray镀层厚度检测仪结构

企业介绍

江苏天瑞仪器股份有限公司总部位于全国百强县之首江苏省昆山市，公司成立于1992年，前身西安西清华仪器研究所，历经20多年的发展，以成长为国内分析仪器行业龙头公司，2011年在深圳创业板上市，为国内分析仪器行业上市公司，股票代码300165.公司已成为集研发、销售、生产和服务于一体的现代高科技企业，在北京，上海、深圳等地拥有多家子公司，构筑了面向的销售和服务网络，涵盖光谱，色谱，质谱仪器，环境科学，医疗等业务领域，涉及电子电器，贵金属，检测、冶金、环保，医疗，食品安全，电镀，石油冶炼等领域。

公司严把质量关，技术精益求精，服务及时周到，是用户信得过的朋友。产品不仅在中国市场上并已远销印度、韩国、泰国、孟加拉、巴基斯坦、印度尼西亚、伊朗、越南、新加坡、马来西亚、阿联酋、土耳其、苏丹、美国、英国、德国、法国、俄罗斯、澳大利亚、意大利、 埃及、南非、叙利亚等多个国家。至今，天瑞仪器在提供了5万台以上的分析测量仪器。