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图文详情
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产品属性
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仪器概述
Xray镀层厚度检测仪Thick800A是一款应用广泛的能量色散型X射线荧光光谱仪,使用大铍窗超薄窗口高分辨率的SDD探测器,其探测器分辨率为139eV,处于国际先进水平;产品采用上照式设计,多重防辐射保护装置以及X射线发生器,使辐射剂量符合国际规定;样品观察系统采用CCD摄像头、数字多道分析器、激光定位以及自主研发的专用测厚分析软件,各项指标均符合相关技术要求,技术达国际先进水平。
Xray镀层厚度检测仪应用原理
Xray镀层厚度检测仪采用XRF光谱法
X射线荧光法(XRF):能量X荧光光谱侧厚法(质量膜厚)
测试原理:XRF测厚是通过X射线激发各种物质(如Mo、Ag、Mn)的特征X射线,然后测量这被释放出来的特征X射线的能量对样品进行进行定性,测量这被释放出来的特征X射线的强度与标准片(或者对比样)对比得出各物质的厚度,这种强度和厚度的对应关系在软件后台形成曲线。而各种物质的强度增加,厚度值也增加,但不是直线关系;通过标样和软件及算法(算法有FP法和经验系数法)得到一个最接近实际对应关系的曲线
Xray镀层厚度检测仪应用优势
1 快速:一般测量一个样品只需要30S~300S,样品可不处理或进行简单处理;
2 无损:物理测量,不改变样品性质;
3 准确:对样品可以分析;
4 直观:直观的分析谱图,元素分布一幕了然,定性分析速度快;
5 环保:检测过程中不产生任何废气、废水。
产品技术参数
技术参数
1 型号 Thick800A
2 外型尺寸 576(W)×495(D)×545(H) mm
3 样品室尺寸 500(W)×350(D)×140(H) mm
4 样品台尺寸 230(W)×210(D)mm
5 Z轴升降平台升降范围 0~140mm
6 平台移动测量范围 50mm(W)×500mm(D)×135mm(H)
7 *分析方法 FP与EC法兼容能量色散X荧光分析方法
8 测量元素范围 原子序数为16S~92U之间的元素均可测量
9 *同时检测元素 可同时分析最多24个元素,五层镀层
10 *检出限 金属镀层分析最薄可达0.005μm
11 厚度范围 分析镀层厚度一般在50μm以内(每种材料有所不同)
12 稳定性 多次测量重复性可达1%
13 检测时间 30-60秒
14 *探测器及分辨率 25mm2Be窗口SDD探测器,分辨率140±5eV
15 激发源 50KV/1000uA-W靶X光管及高压电源
16 *多道分析器 DMCA数字多道分析技术,分析道数4096道
17 准直器和滤光片 固定Ф0.2mm准直器,可选配其他孔径,Al滤光片
18 定位 平台电机重复定位小于0.1um
19 样品观察 配备CCD多彩摄像头,图像放大可达40倍,实现微小样品清晰定位。
20 平台稳定性 Z轴测试平台采用恒力弹簧平衡重力,实现平台的恒力升降,有效降低Z轴电机负荷,并有效保证了Z轴的垂直度。
21 安全性 双重安全保护设施:防撞激光检测器与样品室门开闭传感器;待机无辐射,工作时辐射水平远低于国际安全标准,且具有软件连动装置。
22 操作环境温湿度 15℃~30℃,≤70%
23 仪器重量 90kg
24 工作电源 交流220V±5V, 建议配置交流净化稳压电源
五、软件优势
采用公司的能量色散X荧光FpThick软件,先进的FP法和EC法等多种方法嵌入的人性化应用软件,具有高灵敏度、测试时间短、一键智能化操作。谱图区域采用动态模式,测试时元素观察更直观。
具有多种测试模式设置和无限数目模式自由添加,内置强度校正方法,可校正几何状态不同和结构密度不均匀的样品造成的偏差。
Xray镀层厚度检测仪结构
企业介绍
江苏天瑞仪器股份有限公司总部位于全国百强县之首江苏省昆山市,公司成立于1992年,前身西安西清华仪器研究所,历经20多年的发展,以成长为国内分析仪器行业龙头公司,2011年在深圳创业板上市,为国内分析仪器行业上市公司,股票代码300165.公司已成为集研发、销售、生产和服务于一体的现代高科技企业,在北京,上海、深圳等地拥有多家子公司,构筑了面向的销售和服务网络,涵盖光谱,色谱,质谱仪器,环境科学,医疗等业务领域,涉及电子电器,贵金属,检测、冶金、环保,医疗,食品安全,电镀,石油冶炼等领域。
公司严把质量关,技术精益求精,服务及时周到,是用户信得过的朋友。产品不仅在中国市场上并已远销印度、韩国、泰国、孟加拉、巴基斯坦、印度尼西亚、伊朗、越南、新加坡、马来西亚、阿联酋、土耳其、苏丹、美国、英国、德国、法国、俄罗斯、澳大利亚、意大利、 埃及、南非、叙利亚等多个国家。至今,天瑞仪器在提供了5万台以上的分析测量仪器。