-
图文详情
-
产品属性
-
相关推荐
3D表面粗糙度仪TR scan
TR-Scan系列非接触表面微观形貌(粗糙度)测量仪,系统采用TRIMOS技术数字全息三维显微测量技术(DHM),广泛应用于高精密微观表面检查。与传统非接触测量技术相比,测量速度快,对震动不敏感,真正的实现三维形貌纳米级测量。模块化的设计理念,可配置共焦显微系统, 探针测量系统,传感器直接更换,方便快捷,极大的满足了不同的应用范围。即可用于计量单位和材料科学研发实验室,也广泛应用在工业制造领域:汽车、航天、航空、表面涂层、医疗产品、微型电机系统、半导体等行业。
3D表面粗糙度仪TR scan主要特点:
◆ 非接触式测量原理,无损化检测粗糙度,微观形貌
◆ 独有的数字全息三维显微技术,真正实现3D微观形貌测量
◆ 创新的成像原理,从原理上保证了对外界振动不敏感,Z轴分辨率高
◆ 激光找正工件并自动定位,测量速度快
◆ 模块化的设计概念,多种光学光路原理,直接更换传感器,不需要调整,方便快捷
◆ 可非标定制相应的测量头,满足不同客户的特殊工件测量要求
◆ 即可选用数字全息技术实现高精密表面测量,也可选用色谱共焦技术实现微观轮廓测量或选用接触式探针实 现内壁粗糙度测量
◆ 惯用了Trimos“智能用户界面”的理念,测量过程全 自动,操作简单
◆ 采用的3D形貌分析软件,功能强大,即可实现2D轮廓测量,也可进行3D形貌分析
◆ 可进行编程批量检测并自动生成分析
◆ 完全兼容2D标准,并已内置即将制定的3D标准
3D表面粗糙度仪TR scan技术参数:
工作台移动范围X | 100mm | ||
工作台移动范围Y | 固定式 | ||
工作台移动范围Z | 240mm | ||
XYZ轴位移量 | 0.1μm | ||
XYZ轴定位 | 1μm | ||
XY轴导轨直线度 | 1.5μm | ||
工件重量 | 20kg | ||
测量原理 | 非接触式多点谱线共焦传感器 | ||
光源 | 白色LED共轴光,高强光,数字可控 | ||
色谱共焦传感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
线宽 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作距离 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光斑间隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
测量范围 | 200μm | 950μm | 4mm |
轴向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
90nm | 360nm | 1.5μm | |
厚度分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
测量厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |
3D表面粗糙度仪TR scan图片展示
测量范围
200μm~950μm
轴向分辨率:
30nm ~120nm
线宽:
0.96mm~1.92mm
XYZ轴位移量:
0.1μm
工件重量:
20kg
XYZ轴定位:
1μm