Veratus读数头、Veratus光栅、Celera光栅、MicroE光栅

1、 分辨率1μm～20nm

2、 低的电子细分误差（小于20nmRMS）

3、 读数头规格：10.2mm(高)x13.5mm(宽)x35mm(长)；重量：15g

4、 模拟量输出；A-quad-B数字信号输出；报警信号

5、 速度可达5m/s

6、 栅距20μm

7、 线性：标准±3～±5μm；高±1μm

8、 重复性≦1L

9、 光刻位信号

10、 LED状态指示灯用于传感器对准和位定位