组成部件：气体质量流量控制器由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。

气体质量流量计：无流量控制调节阀部件

工作原理：采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的量使之与设定的流量相等。

产品分类：模拟型流量计/控制器（不带显示，模拟信号输出0~5VDC或4~20mA，需配二次仪表、PLC使用）

数字式分体流量计/控制器（XD300，不带显示，模拟和数字信号0~5VDC或4~20mA/RS232或RS485输出，需配二次仪表、计算机、PLC）

数字式一体流量计/控制器（XD600，带显示，模拟和数字信号0~5VDC或4~20mA/RS232或RS485输出,可配计算机、PLC）

调方法：调：1、显示面板实时显示的调方法，叫做外调0；2、从流量控制器上的调孔进行调节，叫做内调0。

调时流量控制器中不得通气。

调须在开机预热15 分钟以后进行，以待控制器点的稳定。

注意：禁止在工作过程中，进入组态调

注意事项：测量介质：气体须净化，切忌粉尘、液体和油污。

工作压差：要注意工作介质的气压，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。（建议客户：在进出口处安装压力表）

气体质量控制器：控制器电磁调节阀并不能当做气路截止阀使用，需客户在控制器处安装截止阀。

 阀控操作注意：在阀控操作为“清洗”后不能直接转为“阀控”状态，应先切换至“关闭”状态。