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小型模拟型气体质量流量控制器/空气流量计
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小型模拟型气体质量流量控制器/空气流量计

简要描述：用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有高，稳定性好，模拟电路，性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

小型模拟型气体质量流量控制器/空气流量计产品特点：

  高

  稳定性好

  模拟电路

  响应速度快

小型模拟型气体质量流量控制器/空气流量计产品用途：

广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

技术参数：

产品型号

LF420-SC

LF420-SM

满量程范围

SCCM   0～5，10，20，30，50，100，200，500

SLM    0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30


量程比

控制器50:1

流量计100:1

±1.0%F.S


线性

±0.5%F.S


重复性

±0.2%F.S


阀门类型

常闭阀


响应时间

≤1S-3S


工作压差

0.1...0.5Mpa


耐压

3MPa


工作环境温度

5...45℃


泄漏率

1×10-8Pa.m3/s


通信信号

0-5V / 4-20MA


供电方式

24VDC（250mA）


密封材料

丁晴橡胶  氟橡胶（可选）


接头尺寸

3mm  6mm  8mm  10mm  1/8” 1/4”  3/8”


电器接头

DB9针