上海三研 SYDC-100M 多层型浸渍提拉镀膜机

一.产品简介

    SYDC-100M多层浸渍提拉镀膜机，是专门为多种溶液全自动制备多层薄膜材料的研究工作而设计，对不同液体轮换浸渍提拉工艺得到多层薄膜。浸渍提拉及溶液轮换流程的各参数均精密可调、自动控制。对镀膜基质无要求，片状、块状、圆柱状等均可镀膜。运行稳定、工作时液面无振动，可大实验。制备均匀的膜层。

    适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等固体材料表面涂覆工艺。

二.产品特点

    1.精密的垂直提拉装置。近升级为瑞士原装的垂直提拉装置部件，采用特种功能材料制作，具有精密度高、传动无间隙、运行平滑、耐腐蚀、免维护、使用寿命长等特点。

    2.采用伺服电机驱动。配合瑞士原装的垂直提拉装置和程序控制系统，运行及稳定性，已消除提拉震动的效果，涂膜均匀。

    3.多参数全自动程序控制。共有六个参数设置：下降速度、浸渍时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、镀膜间隔时间，各参数均连续可调，精密控制。镀膜程序设定后，从下降到浸渍，再到提拉镀膜的整个镀膜过程全自动运行。

    4.旋转台上有6个位置，可多放置6个溶液。可任意编程排序，程序控制转换。

    5.高、低速均运行平稳，镀膜时液面无振动，使膜层更均匀、无条纹。

    6.采用4.3英寸液晶触摸屏使控制更方便。运行时，各项参数实时显示，更直观了解镀膜进程。

    7.上下两端均安装有限位传感器，提拉或下降运行时，到限位处自动停止，避免提拉或下降的限运行。

    8.采用设计的平口型夹具，两面均匀夹持样片，不会夹坏样片。

    9.可对不同溶液（材料）进行全自动多层浸渍提拉镀膜；

三.技术参数

    1.提拉速度范围：1～6000 μm/s，小分辨率1μm/s；

    2.速度：-0.02%～+0.02%；

    3.提拉行程：约200 mm；

    4.适用基片尺寸：MIN 10×10 mm，MAX 100×100 mm，厚度MAX 10mm；

    5.浸渍时间：1～3600 s，小分辨率1s；

    6.溶液位置：1～6；（旋转台上有6个位置，多可放置6种材料的溶液）；

    7.旋转台转速：0.01～0.3 r/s；

    8.旋转台尺寸：?200 mm；

    9.旋转台控制方式：自动程序控制；

    10.循环次数：1～1000次，少1次；

    11.每次镀膜间隔时间：1～3600 s，小分辨率1s；

    12.电源：220V/50Hz

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