SEMISHARE LCVD系列激光系统

1.        CVD工作原理：用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线，通孔以减少线缺陷，进而良率。       CUT工作原理：利用激光精密切割，熔接功能，短路，断线，以减少线缺陷，进而良率。 2.        连线效果 成膜规格：         材质：Cr,Mo,W,Al         小线宽：2 micron