退火系统技术附件（赵先生：）

一、       系统的主要组成及技术指标

限真空度：≤6.6x10^-5Pa (经烘烤除气后，冷态)；

系统真空检漏漏率：≤5.0x10^-7 Pa.l/S；

系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可6.6x10^-4 Pa；

停泵关机12小时后真空度：≤10 Pa；

1.1 、真空室：                                                1套

约为Ф800×550（mm）圆筒型立式双层水冷全不锈钢结构。上盖电动升降，外表面工艺抛光处理，下面开有泵接口，保护气接口，钟罩侧面开有电接口，钨铼热电偶接口，真空规接口，压力表接口。除上述法兰口外，在真空室的四周适当位置留有CF35、CF63的备用法兰口各一个，配以相应的盲板。

1.2 、样品加热控温系统：                                      1套

1.2.1、温度：工作区为Ф350×250（mm），工作区加热温度为1300℃。

       工作区温度均匀性：±10℃。

1.2.2、发热体及保温层：圆周和上下都布置加热体，发热体由钼材料制成，多层金属屏蔽。

1.2.3、加热电源：直流可控硅加热电源，侧发热体加热功率约为30KW，上下加热功率约为15KW；

1.2.4、控温：室温--1300℃采用钨铼热电偶测温，3点控温，分别位于测面和上下面，采用日本产温控仪控温表。

1.3 、样品架系统                                             1套

钟盖升起后，样品架固定在下底盘上，将工件放在样品架上。

1.4 、工作气路：

1.4.1、充气阀RF16，管路、接头等：1路（充保护气体）

1.4.2、充气阀D6，管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）

3、抽气机组及阀门、管道         1套                          

3.1  、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速1200升/秒，北京）；   

3.2  、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，上海）；

3.3  、KF40电磁压差阀：1台（上海）；

3.4  、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；

3.5  、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀CF35：1套；

3.6  、CF200-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；