流量控制器 技术指标

　　流量规格：0~5,10,50,100,300,500sccm(mL/min)

　　控制及显示：0.1sccm(mL/min)

　　准 确 度：±0.5％F.S.

　　线 性 度：±1％F.S.

　　重复：±0.5％F.S.

　　工作压差：0~1MPa

　　耐压：1.1MPa

　　环境温度：0~65℃

　　电气连接：DB9

　　输出信号：模拟量、RS232、RS485、RS422、CAN（数字协议带电气隔离）

　　电        源：15~40VDC

　　标准气路接头：M8*1卡套接头、4mm快拧、6mm快拧/卡套、8mm快拧

　　气路管径：3~3.2mm、4mm、6mm（外径）

　　可测量气体种类：Air、He、Ar、N2、O2、H2、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2

　　流量控制器 特性

　　1.容易安装及维护

　　2.支持多种通讯协议

　　3.高、高稳定性、极低的零漂

　　4.可测控气体种类多

　　5.带流量累积量输出

　　6.可对气体进行流量控制和流量累积量控制

　　7.可配专用控制器

　　流量控制器 结构图

　　流量控制器/流量计生产厂家简介

　　苏州爱拓利电子设备有限公司是一家生产和出口气体质量流量控制与测量设备的厂家。公司自成立以来，始终坚持高起点、高要求引进开发产品，做到产品在技术上同行业不不生产，生产工艺不完备不推广，达不到欧美国家标准的技术不引进。体积小型化、重量轻型化一直是精密仪器发展潮流，我们不断努力使产品达到相同技术，体积更小；达到相同体积，质量轻。在同行业技术上每次创新，我们都付出了巨大的努力，每个用户的赞许，都是对我们工作的肯定。

　 苏州爱拓利电子设备有限公司经历了多年的研发、生产经验积淀，公司先后推出了多款气体质量流量控制器与流量计，支持多种通讯协议，气体种类覆盖面广，控制及测量高，响应速度快，性能稳定。产品广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、食品、航空电力等行业。   

  公司拥有自己的研发团队，具有高水平的产品设计、结构、硬件和软件等研发能力。与国内一些化工分析企业保持着长期合作关系，在不断追求创新和突破的同时，公司十分注重产品品质，对产品品质有一套严谨科学的检测标准和控制体系，实行问责制，打造过硬产品。

 质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念? 

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于值(0.1 MPa)，有可能控制达不到满量程值;若高于值(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳定