硅单晶电阻率标准标准物质SYS-01是参照原美国NBS（现为NIST）的标准，以硅为原材料，

通过特殊工艺研制而成的标称值不同的一套硅单晶电阻率标准片。

本标准物质一般用于检定和校准制造和使用中的电阻率（方阻）测试仪。

GBW13709—GBW13710则

硅单晶电阻率标准标准物质SYS-01是用于校准扩展电阻测量系统的标准片。

电阻率样片规格一般为直径2英寸（51mm）— 4英寸（100mm），

厚度500mm—650mm的圆片（Wafer），包装为带标签的标准币式单片晶圆包装盒。

硅单晶电阻率标准标准物质SYS-01扩展电阻样片规格一般为3mm×5mm矩形薄片，包装为带标签的独立自封袋。