质谱检漏仪TA-830D产品介绍

TA-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏，氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。

氦质谱检漏仪TA-830D主要技术指标

可检漏率：2×10-12Pa·m3/s

漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

启动时间：≤3min

响应时间：≤0.3s

检漏口的zui高压力：1800Pa

极限压强：5×10-4Pa

电源要求：220V，50Hz，单相，10A

工作环境：5-35℃

相对湿度：≤80%

外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H）

重量：65kg

氦质谱检漏仪TA-830D主要配置                                       

1.干泵检漏仪专用分子泵

2. 进口干泵

3. 配置标准漏孔

4. 美国AD放大器

5. 采用质谱专用模块

6.台达触摸彩屏